| 发明名称 |
POLYCRYSTALLINE SI THIN-FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0982974(A) |
申请公布日期 |
1997.03.28 |
| 申请号 |
JP19950237160 |
申请日期 |
1995.09.14 |
| 申请人 |
TOSHIBA ELECTRON ENG CORP;TOSHIBA CORP |
发明人 |
OGASAWARA TAKAO |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/02;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
