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发明名称 WAFER HOLDING MECHANISM FOR ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0982265(A) 申请公布日期 1997.03.28
申请号 JP19950236376 申请日期 1995.09.14
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SATO SHUJI
分类号 C23C14/48;C23C14/50;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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