| 发明名称 |
DEVICE FOR DETECTING ELECTRIC CHARGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0980099(A) |
申请公布日期 |
1997.03.28 |
| 申请号 |
JP19950238484 |
申请日期 |
1995.09.18 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
MASUYAMA MASAYUKI;MATSUDA YUJI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R29/24;G01R31/319;H01L21/66;(IPC1-7):G01R29/24 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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