| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0982983(A) |
申请公布日期 |
1997.03.28 |
| 申请号 |
JP19950239707 |
申请日期 |
1995.09.19 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
KUNIYONE KAZUO;MIYAWAKI MAMORU |
| 分类号 |
G01L1/18;G01L9/00;G01L9/04;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/306;H01L27/12;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01L1/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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