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发明名称
METHOD OF FABRICATING PHASE SHIFT MASK
摘要
申请公布号
KR1019970004475(B1)
申请公布日期
1997.03.28
申请号
KR1019930025137
申请日期
1993.11.24
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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