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发明名称 SCREEN MASK
摘要
申请公布号 JPH0982735(A) 申请公布日期 1997.03.28
申请号 JP19950257021 申请日期 1995.09.08
申请人 TORAY ENG CO LTD 发明人 AKITA MASANORI;TOMIOKA OSAMU;OKADA SHIRO;TSUJIAI HIROSHI;YOSHIKAWA HARUO
分类号 B41F15/36;H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 B41F15/36
代理机构 代理人
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