发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0982805(A) 申请公布日期 1997.03.28
申请号 JP19950264809 申请日期 1995.09.19
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TAKIYAMA MASANORI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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