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发明名称
MANUFACTURE OF SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0982663(A)
申请公布日期
1997.03.28
申请号
JP19950234956
申请日期
1995.09.13
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
HASHIMOTO KOICHI
分类号
H01L21/28;H01L21/04;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
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