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发明名称 INSULATING FILM FLATTENING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0982616(A) 申请公布日期 1997.03.28
申请号 JP19950239886 申请日期 1995.09.19
申请人 SONY CORP 发明人 NAKAJIMA HIDEHARU
分类号 H01L21/31;H01L21/027;H01L21/316;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/320 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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