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发明名称 PLASMA PROCESSING SYSTEM AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0982686(A) 申请公布日期 1997.03.28
申请号 JP19950238753 申请日期 1995.09.18
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NAKAJIMA KAZUAKI
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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