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发明名称 ELECTRON BEAM BIPRISM
摘要
申请公布号 JPH0980199(A) 申请公布日期 1997.03.28
申请号 JP19950233143 申请日期 1995.09.12
申请人 JEOL LTD 发明人 HONDA TOSHIKAZU;TAKEGUCHI MASAKI;TOMITA TAKESHI
分类号 G21K1/087;G03H5/00;H01J37/04;H01J37/26;H01J37/295;(IPC1-7):G21K1/087 主分类号 G21K1/087
代理机构 代理人
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