| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0982591(A) |
申请公布日期 |
1997.03.28 |
| 申请号 |
JP19950238248 |
申请日期 |
1995.09.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NISHIHATA KOJI;ITO ATSUSHI;YANAGI MASASHI;IKUHARA SHIYOUJI |
| 分类号 |
H01L21/02;G05B15/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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