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发明名称
OPTICAL CHARACTERISTIC EVALUATING METHOD FOR THIN FILM SEMICONDUCTOR BY PHOTOTHERMAL POLARIZED SPECTROMETRIC METHOD
摘要
申请公布号
JPH0982767(A)
申请公布日期
1997.03.28
申请号
JP19950236411
申请日期
1995.09.14
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
SASAKI TOSHIAKI
分类号
G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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