发明名称 PHASE DIFFERENCE MICROSCOPE, AND LIGHT ABSORBER AND PHASE PLATE USED FOR THE SAME
摘要
申请公布号 JPH0980313(A) 申请公布日期 1997.03.28
申请号 JP19950235695 申请日期 1995.09.13
申请人 NIKON CORP 发明人 ITAGAKI MAKOTO;MIYAGAWA AKIKO;FUTABOSHI TOSHIAKI;KAWAHITO TAKASHI
分类号 G02B5/18;G02B21/00;G02F1/15;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
地址