发明名称 |
PHASE DIFFERENCE MICROSCOPE, AND LIGHT ABSORBER AND PHASE PLATE USED FOR THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0980313(A) |
申请公布日期 |
1997.03.28 |
申请号 |
JP19950235695 |
申请日期 |
1995.09.13 |
申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
ITAGAKI MAKOTO;MIYAGAWA AKIKO;FUTABOSHI TOSHIAKI;KAWAHITO TAKASHI |
分类号 |
G02B5/18;G02B21/00;G02F1/15;(IPC1-7):G02B21/00 |
主分类号 |
G02B5/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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