| 发明名称 |
VERTICAL HEAT TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0982720(A) |
申请公布日期 |
1997.03.28 |
| 申请号 |
JP19950262151 |
申请日期 |
1995.09.14 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON TOHOKU LTD |
发明人 |
KADOBE MASAHITO |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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