| 发明名称 |
PROBE HEAD FOR MEASURING PARAMETERS OF CHIPS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU2076392(C1) |
申请公布日期 |
1997.03.27 |
| 申请号 |
SU19813022790 |
申请日期 |
1981.05.22 |
| 申请人 |
GOSUDARSTVENNOE NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE PREDPRIYATIE "ISTOK" |
发明人 |
TEMNOV ALEKSANDR M |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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