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发明名称 Polymers
摘要
申请公布号 EP0709410(A3) 申请公布日期 1997.03.26
申请号 EP19950810648 申请日期 1995.10.18
申请人 OCG MICROELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 MERTESDORF, CARL-LORENZ, DR.
分类号 G03F7/039;C08F12/00;C08F212/14;C08F220/58;G03F7/004;H01L21/027;(IPC1-7):C08F220/58;C08F230/08 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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