| 摘要 |
<p>Eine Anordnung zur Erfassung der Topographie einer Oberfläche umfasst ein schwingendes Abtastelement (2), das aus einem Piezoresonator besteht, auf dem eine Mikrotastspitze (25) angebracht ist, ferner einen Piezoaktuator (1) zum Verstellen des Abstands zwischen der Mikrotastspitze (25) und der Oberfläche einer Probe (5) und eine erste Einrichtung zum Messen eines Tunnelstroms zwischen Mikrotastspitze (25) und Oberfläche der Probe (5) und, in Abhängigkeit davon, zum Ansteuern des Piezoaktuators (1). Ferner sind eine zweite Einrichtung zum Messen des Resonanzverhaltens des Piezoresonators und zum Ansteuern des Piezoaktuators (1) in Abhängigkeit von Änderungen der auftretenden Schwingungsamplituden, Resonanzfrequenzen oder Phasenverschiebungen, eine dritte Einrichtung zum Messen des Anteils an Oberwellen des Tunnelstroms und eine Schalteinrichtung (13) vorgesehen, mit der wahlweise die erste, die zweite oder die dritte Einrichtung an dem Piezoaktuator (1) anschaltbar ist.</p> |
