CANTILEVER TYPE ELECTROSTATIC DRIVEN MICRO RELAY STRUCTURE AND METHOD OF IT,申请号KR1019930029625-传众专利搜索

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发明名称	CANTILEVER TYPE ELECTROSTATIC DRIVEN MICRO RELAY STRUCTURE AND METHOD OF IT
摘要
申请公布号	KR1019970004214(B1)	申请公布日期	1997.03.26
申请号	KR1019930029625	申请日期	1993.12.24
申请人		发明人
分类号		主分类号
代理机构		代理人
主权项
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