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发明名称 CHROMIUM ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0978263(A) 申请公布日期 1997.03.25
申请号 JP19950233566 申请日期 1995.09.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 KASAI TSUTOMU;INOUE HIROYUKI;YAMAMOTO HIDEAKI;AOKI AKIRA;MITSUMA TOSHIYUKI
分类号 G02F1/1345;C23F1/08;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):C23F1/08;G02F1/134 主分类号 G02F1/1345
代理机构 代理人
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