| 发明名称 |
AUTOMATIC CONTROL METHOD FOR CRYSTALLIZED CRYSTAL DIAMETER IN FLOATING ZONE MELTING METHOD AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0977588(A) |
申请公布日期 |
1997.03.25 |
| 申请号 |
JP19950259456 |
申请日期 |
1995.09.13 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
SUZUKI TSUTOMU |
| 分类号 |
C30B13/30;H01L21/208;(IPC1-7):C30B13/30 |
主分类号 |
C30B13/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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