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发明名称 APPARATUS FOR CLEANING EPITAXIAL CHAMBER
摘要
申请公布号 KR970002426(Y1) 申请公布日期 1997.03.24
申请号 KR19930020236U 申请日期 1993.10.04
申请人 LG SEMICONDUCTOR LTD. 发明人 CHON, PYO-MAN
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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