| 发明名称 |
MASK TRAY FOR AND METHOD OF LOADING MASK IN LITHOGRAPHY SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR970003775(B1) |
申请公布日期 |
1997.03.21 |
| 申请号 |
KR19920072925 |
申请日期 |
1992.11.21 |
| 申请人 |
HAMPSHIRE INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
BAKER, DAVID G. |
| 分类号 |
G03F7/22;G03F7/20;G03F9/00;G21K5/02;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):G21K5/00 |
主分类号 |
G03F7/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
