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发明名称
Feldemissions-Elektronenkanone mit magnetischer Immersionslinse zur Reduzierung der Aberration einer elektrostatischen Linse
摘要
申请公布号
DE69305463(T2)
申请公布日期
1997.03.20
申请号
DE19936005463T
申请日期
1993.08.27
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP
发明人
YAMAZAKI, YUICHIRO, TOKYO-TO, JP;MIYOSHI, MOTOSUKE, TOKYO-TO, JP;NAGAI, TAKAMITSU, SHINJUKU-KU, TOKYO-TO, JP
分类号
H01J37/073;(IPC1-7):H01J37/073
主分类号
H01J37/073
代理机构
代理人
主权项
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