发明名称 Feldemissions-Elektronenkanone mit magnetischer Immersionslinse zur Reduzierung der Aberration einer elektrostatischen Linse
摘要
申请公布号 DE69305463(T2) 申请公布日期 1997.03.20
申请号 DE19936005463T 申请日期 1993.08.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 YAMAZAKI, YUICHIRO, TOKYO-TO, JP;MIYOSHI, MOTOSUKE, TOKYO-TO, JP;NAGAI, TAKAMITSU, SHINJUKU-KU, TOKYO-TO, JP
分类号 H01J37/073;(IPC1-7):H01J37/073 主分类号 H01J37/073
代理机构 代理人
主权项
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