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发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND SEMICONDUCTOR DEVICE AND TEST BOARD OF THE SAME
摘要
申请公布号
KR970003728(B1)
申请公布日期
1997.03.21
申请号
KR19930011330
申请日期
1993.06.21
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC KK.
发明人
NAKKAJIMA, NITCHIO
分类号
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/326;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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