发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING PROCESS
摘要
申请公布号 RU1639335(C) 申请公布日期 1997.03.20
申请号 SU19884462246 申请日期 1988.06.08
申请人 BARANOV B.A.;VOLKOVA N.YA. 发明人 BARANOV B.A.;VOLKOVA N.YA.
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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