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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING PROCESS
摘要
申请公布号
RU1639335(C)
申请公布日期
1997.03.20
申请号
SU19884462246
申请日期
1988.06.08
申请人
BARANOV B.A.;VOLKOVA N.YA.
发明人
BARANOV B.A.;VOLKOVA N.YA.
分类号
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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