| 发明名称 |
COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0974186(A) |
申请公布日期 |
1997.03.18 |
| 申请号 |
JP19950227737 |
申请日期 |
1995.09.05 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ISHIDA TAKAO;HATTORI AKIRA |
| 分类号 |
H01L29/872;H01L21/20;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778 |
主分类号 |
H01L29/872 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
