| 发明名称 |
MIS SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0974200(A) |
申请公布日期 |
1997.03.18 |
| 申请号 |
JP19960171987 |
申请日期 |
1996.07.02 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YAMADA TAKAYUKI;NAKABAYASHI TAKASHI;ARAI MASATOSHI;YABU TOSHIKI;ERIGUCHI KOUJI |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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