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发明名称 PLASMA ASHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0974083(A) 申请公布日期 1997.03.18
申请号 JP19950229269 申请日期 1995.09.06
申请人 SONY CORP 发明人 TANAKA SHINICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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