发明名称 |
DOPING METHOD AND DOPING DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0974067(A) |
申请公布日期 |
1997.03.18 |
申请号 |
JP19950227974 |
申请日期 |
1995.09.05 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MURAKAMI TAKASHI;INABA YUTAKA;UMEDA KOJI |
分类号 |
H01L21/22;H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/22 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|