发明名称 SUPPORTING MATTER FOR DISK SHAPE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0971869(A) 申请公布日期 1997.03.18
申请号 JP19950226217 申请日期 1995.09.04
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 WATANABE NORIHISA
分类号 C23C18/31;G11B5/84;(IPC1-7):C23C18/31 主分类号 C23C18/31
代理机构 代理人
主权项
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