发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0974069(A) 申请公布日期 1997.03.18
申请号 JP19950227628 申请日期 1995.09.05
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 IMAI YOSHINORI
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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