| 发明名称 |
ELECTRIC FIELD DETECTING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0972946(A) |
申请公布日期 |
1997.03.18 |
| 申请号 |
JP19950229101 |
申请日期 |
1995.09.06 |
| 申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
SUGIYAMA SUNAO;UEDA TOSHITSUGU;OIKAWA SHINJI;KOYAMA KIYOAKI;YAMAZAKI TSUTOMU;MISAKU JIRO;SUZUKI MICHIHIRO;HAYASHI NAONORI |
| 分类号 |
G01R29/12;G01R19/00;G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/302 |
主分类号 |
G01R29/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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