发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0974189(A) 申请公布日期 1997.03.18
申请号 JP19950229153 申请日期 1995.09.06
申请人 SHARP CORP 发明人 BABA TOMOYA
分类号 H01L21/316;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/324;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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