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发明名称 SILICON DEVICE PRODUCTION
摘要
申请公布号 IL110194(A) 申请公布日期 1997.03.18
申请号 IL19940110194 申请日期 1994.07.03
申请人 CORNING INCORPORATED 发明人
分类号 G02F1/1333;C03C17/22;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 G02F1/1333
代理机构 代理人
主权项
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