| 发明名称 |
RESIST MATERIAL AND RESIST PATTERN FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0973173(A) |
申请公布日期 |
1997.03.18 |
| 申请号 |
JP19960050264 |
申请日期 |
1996.03.07 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TAKECHI SATOSHI;KODACHI AKIKO;TAKAHASHI MAKOTO |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/039;H01L21/312;(IPC1-7):G03F7/039 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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