发明名称 MECHANISM FOR IMPRESSING EXTERNAL MAGNETIC FIELD ON SUBSTRATE SURFACE AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0971862(A) 申请公布日期 1997.03.18
申请号 JP19950254603 申请日期 1995.09.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAMEI MITSUHIRO;SETOYAMA HIDETSUGU;UMEHARA SATOSHI
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23C14/46;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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