| 发明名称 |
FORMATION OF WIRING IN SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0974134(A) |
申请公布日期 |
1997.03.18 |
| 申请号 |
JP19960011146 |
申请日期 |
1996.01.25 |
| 申请人 |
L JII SEMICON CO LTD |
发明人 |
ZEN EIKEN;KIN YOUKEN;BOKU SHINGEN;BOKU RAIKAKU |
| 分类号 |
H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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