Verfahren zur Herstellung einer chemisch adsorbierten Schicht,申请号DE1991623228T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung einer chemisch adsorbierten Schicht
摘要
申请公布号	DE69123228(T2)	申请公布日期	1997.03.13
申请号	DE1991623228T	申请日期	1991.12.18
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP	发明人	YAMAGATA, YOSHIKAZU, MORIGUCHI-SHI, OSAKA 570, JP;MINO, NORIHISA, SETTU-SHI, OSAKA 566, JP;OGAWA, KAZUFUMI, HIRAKATA-SHI, OSAKA 573, JP;SOGA, MAMORU, TENNOJI-IU, OSAKA-SHI 543, JP
分类号	B05D1/18;C03C17/30;C04B41/45;C04B41/49;C04B41/81;C04B41/84;C09D4/00;H01L21/312;(IPC1-7):B05D1/20;C08J7/04;C03C17/28;C23C22/02;C04B41/82;H01L21/00	主分类号	B05D1/18
代理机构		代理人
主权项
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