发明名称 Herstellungsverfahren für MIS-Halbleiterbauelement
摘要
申请公布号 DE69212897(T2) 申请公布日期 1997.03.13
申请号 DE19926012897T 申请日期 1992.05.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 ONUMA, MAKOTO, TAKATSUKI-SHI, OSAKA, JP
分类号 H01L21/8246;H01L27/088;H01L27/112;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/82 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
主权项
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