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Das Verfahren dient zur Herstellung von Substraten mit modifizierten, mit einem Alkohol besetzten Siliciumdioxid-haltigen Oberflächen. Dazu setzt man die zu behandelnde Oberfläche mit den folgenden Verbindungen, welche in Gegenwart von Siliciumdioxid mit Hydroxy-Gruppen reagieren und den entsprechenden Alkohol abspalten, um: Orthocarbonaten, Ketalen, Phosphiten, Phosphoniten oder Sulfiten der im Patentanspruch angegebenen Formeln. Die Umsetzung wird zweckmässig in einem Lösungsmittel, durch Umsetzung in der Masse, insbesondere durch Eintauchen oder Beschichten, oder in der Gasphase vorgenommen. Vorzugsweise wird die Umsetzung mit einem Überschuss des Reagens im Verhältnis zu den OH-Gruppen der SiO2-Oberfläche während etwa 15 Stunden bei etwa 80 DEG C durchgeführt. Alternativ kann man die zu modifizierende Oberfläche mit Phosphortrichlorid umsetzen und die so behandelte Oberfläche anschliessend mit einem aliphatischen Alkohol mit 1 bis 10 Kohlenstoffatomen umsetzen. Die Verfahren eignen sich insbesondere zur Behandlung von sauren Oberflächen, wie Bor-Gläsern und hochdispersen pyrogenen Kieselsäuren, insbesondere Aerosil 2003.
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