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发明名称
摘要
申请公布号	JP2590842(B2)	申请公布日期	1997.03.12
申请号	JP19860257293	申请日期	1986.10.29
申请人	SONY CORP	发明人	KAWAI HIROHARU;TAIRA KENICHI
分类号	H01L29/73;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331	主分类号	H01L29/73
代理机构		代理人
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