发明名称
摘要
申请公布号 JP2590352(B2) 申请公布日期 1997.03.12
申请号 JP19870322195 申请日期 1987.12.18
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 MYAGAWA KAZUHISA
分类号 H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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