发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0969607(A) 申请公布日期 1997.03.11
申请号 JP19950247034 申请日期 1995.09.01
申请人 SONY CORP 发明人 ITO HIDEKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/82;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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