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发明名称
SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号
JPH0967668(A)
申请公布日期
1997.03.11
申请号
JP19950218583
申请日期
1995.08.28
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
SAKAI AKIRA;ISHIGAMI TAKASHI;TAKADO TEIJI;HIRAYAMA HIDEO;HIDAKA KOJI
分类号
C23C14/34;C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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