发明名称 SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 JPH0967668(A) 申请公布日期 1997.03.11
申请号 JP19950218583 申请日期 1995.08.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SAKAI AKIRA;ISHIGAMI TAKASHI;TAKADO TEIJI;HIRAYAMA HIDEO;HIDAKA KOJI
分类号 C23C14/34;C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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