发明名称 |
SILICON NITRIDE CIRCUIT SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0969590(A) |
申请公布日期 |
1997.03.11 |
申请号 |
JP19950344235 |
申请日期 |
1995.12.28 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KOMORIDA YUTAKA;SATOU YOSHITOSHI;IKEDA KAZUO;KOMATSU MICHIYASU;MIZUNOYA NOBUYUKI |
分类号 |
H01L23/15;H01L23/373;(IPC1-7):H01L23/15 |
主分类号 |
H01L23/15 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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