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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0969574(A) 申请公布日期 1997.03.11
申请号 JP19950222852 申请日期 1995.08.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AYABE MASAYUKI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8222;H01L21/8234;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/822;H01L21/824 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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