| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0969619(A) |
申请公布日期 |
1997.03.11 |
| 申请号 |
JP19950222148 |
申请日期 |
1995.08.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
ISHIZUKA YOSHIKI;IHARA HISANORI;YAMAGUCHI TETSUYA;IIDA YOSHINORI;FURUKAWA AKIHIKO |
| 分类号 |
H01L27/146;H01L21/324;H01L31/0248;(IPC1-7):H01L27/146;H01L31/024 |
主分类号 |
H01L27/146 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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