发明名称 DEVICE FOR SETTING GAP BETWEEN MASK AND WORK
摘要
申请公布号 JPH0968805(A) 申请公布日期 1997.03.11
申请号 JP19950226296 申请日期 1995.09.04
申请人 USHIO INC 发明人 KAWAHASHI KOJI
分类号 B41J2/16;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 B41J2/16
代理机构 代理人
主权项
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