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经营范围
发明名称
DEVICE FOR SETTING GAP BETWEEN MASK AND WORK
摘要
申请公布号
JPH0968805(A)
申请公布日期
1997.03.11
申请号
JP19950226296
申请日期
1995.09.04
申请人
USHIO INC
发明人
KAWAHASHI KOJI
分类号
B41J2/16;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
B41J2/16
代理机构
代理人
主权项
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