ULTRASONIC CLEANING SYSTEM,申请号JP19950223072-传众专利搜索

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发明名称	ULTRASONIC CLEANING SYSTEM
摘要
申请公布号	JPH0969506(A)	申请公布日期	1997.03.11
申请号	JP19950223072	申请日期	1995.08.31
申请人	SHIBAURA ENG WORKS CO LTD	发明人	KUROKAWA SADAAKI;ISO AKINORI
分类号	B08B3/12;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	B08B3/12
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